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쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경

글쓴이 : 아이유켐 날짜 : 2021-09-27 (월) 09:53
지올, 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경 출시
지능형 기술 플랫폼의 FE-SEM

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지올(JEOL Ltd.)(도쿄증권거래소: 6951)(사장 겸 COO, 오이 이즈미, Izumi Oi)이 쇼트키 전계 방출 전자 현미경(Schottky Field Emission Electron Microscope) JSM-IT800(2020년 5월 출시)의 반도체 소자 관찰에 최적화된 세미-인-렌즈 버전(i)/(is)을 개발했다고 발표했다.
주사 전자 현미경(SEM)은 나노기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학, 생물학 등 다양한 분야에 사용된다. 연구개발뿐만 아니라 제조현장의 품질관리 및 제품 검사까지 SEM 적용 범위가 확대되면서 SEM 사용자들은 신속한 고품질 데이터 획득과 원활한 분석 작업을 통한 간단한 구성정보 확인을 필요로 한다.
이런 수요를 충족시키기 위해 JSM-IT800은 고해상도의 이미지 처리를 위한 인-렌즈 쇼트키 플러스(Shottky Plus) 전계 방출 전자총과 혁신적인 전자광학 제어 시스템 ‘네오 엔진(Neo Engine)’ 그리고 공통 플랫폼으로 빠른 기본 매핑을 위한 내장형 지올 에너지 분산 X선 분광계(ED)를 갖춘 매끄러운 GUI ‘SEM 센터’ 시스템을 통합했다. 또한 JSM-IT800은 모듈별로 SEM의 대물 렌즈 교체가 가능해 다양한 사용자 요구를 충족할 수 있는 여러 가지 버전을 제공한다.
JSM-IT800은 범용 FE-SEM인 하이브리드 렌즈 버전(HL), 고해상도 관찰과 분석이 가능한 슈퍼 하이브리드 렌즈 버전(SHL/SHL, 기능이 다른 두 버전) 그리고 새로 개발된 세미-인-렌즈 버전(i/is, 기능이 다른 두 버전) 등 5가지 버전으로 제공되며 반도체 소자 관찰에 적합하다.
또한 JSM-IT800에는 새로운 신틸레이터 후방 산란 전자 검출기(SBED)를 장착할 수 있다. SBED는 반응성이 뛰어나 실시간 영상을 쉽게 관찰할 수 있으며, 낮은 가속 전압에서도 예리하게 소재를 대비시켜준다.


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